薄膜導(dǎo)熱測(cè)試儀是一款多功能的材料熱測(cè)試儀，主要是針對(duì)薄膜，固體，粉末等各種材料的導(dǎo)熱系數(shù)，熱擴(kuò)散系數(shù)，數(shù)、蓄熱系數(shù)和比熱容等種指標(biāo)，可適用不同尺寸及形式的樣品檢測(cè)，可以直觀的測(cè)量樣品參數(shù)，無(wú)須特別的樣品制備，對(duì)于材料的研究熱物理性能研究有著重要的作用。
 

　　薄膜材料廣泛應(yīng)用于光學(xué)和電氣保護(hù)膜，薄膜光伏電池和薄膜電池等各種領(lǐng)域中。盡管薄膜材料已經(jīng)存在了數(shù)十年，但熱導(dǎo)率測(cè)量方法傳統(tǒng)上一直專注于探索塊體材料樣品，而表征這些特殊材料的能力相對(duì)滯后。近年來(lái)，由于熱管理非常重要的納米和微米級(jí)制造技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展，知識(shí)鴻溝逐漸縮小，而薄膜導(dǎo)熱測(cè)試儀的瞬態(tài)平面源即是一種用于表征薄膜材料導(dǎo)熱率的新穎工具。
 

　　無(wú)論是散熱還是絕熱，薄膜的導(dǎo)熱系數(shù)測(cè)試都具有非常重要的意義。由于薄膜材料厚度很小,對(duì)聲子散射，這使得薄膜材料的表觀導(dǎo)熱率與塊體材料相比，會(huì)有很大的差異。傳統(tǒng)的實(shí)驗(yàn)室測(cè)試方法中包含3ω方法，此方法在1989年提出。該方法需先在被測(cè)樣品表面鍍一根薄的金屬膜，而此金屬膜即是加熱裝置，同時(shí)又是測(cè)溫裝置。對(duì)該金屬膜通交流電，從而對(duì)樣品進(jìn)行加熱。
 

　　因?yàn)榻饘俚碾娮杪蕰?huì)隨溫度的升高而增大，因此金屬膜的溫度變化會(huì)帶來(lái)金屬膜阻值的溫度變化，該阻值與電流的共同作用產(chǎn)生電壓。使用鎖相放大器提取電壓信號(hào)，從而建立傳熱模型。通過(guò)改變電流頻率，最終計(jì)算出被測(cè)樣品的導(dǎo)熱系數(shù)。但此測(cè)試方法操作繁瑣，限制條件較多，且無(wú)法商業(yè)化。